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SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器，標準型有兩路傳感器輸入，同時，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實際應用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。

在大型系統(tǒng)中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數(shù)據(jù)通過平均值，以達到更精確的沉積控制；也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶***個檔板。用戶可以自己選擇0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。

數(shù)字輸入可以通過外部信號來對讀數(shù)進行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監(jiān)測儀采用了RS-232接口和Windows?窗口軟件，可以通過電腦上進行調(diào)試安裝。軟件可以用來設置和存儲所有參數(shù)，包括儀器操作和保留程序數(shù)據(jù)到特定的Excel?文檔。同時，USB或以太網(wǎng)選項也添加通信協(xié)議中，以***大程度方便不同用戶。

產(chǎn)品規(guī)格：

QCM傳感器輸入 標準型: 2路  可選4路             

頻率范圍：1-10 MHz                           

標準型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec

可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 

頻率穩(wěn)定性：在 0o to 50oC，總計± 2 ppm         

可選擇的測量周期：0.10 to 2 sec （每級增量0.05 sec）   

測量選擇：1 to 20 readings                   

存儲膜系：99                                 

模擬輸出：2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚 

數(shù)字輸入/輸出：2 路數(shù)字輸入, 4路繼電輸出              

標準型: RS-232                     

可選: USB or 以太網(wǎng)                

電源： 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 

CE 標識：Class 1 equipment                 

73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD    

安裝支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,    

89 x 213 x197mm（3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4"）

重量:2.7 Kg（6 lbs）                    

Windows軟件（included）:提供遠程安裝和操作指導，數(shù)據(jù)錄入功能

SQM160產(chǎn)品詳細介紹

便于使用

開啟速率和膜厚測量，只需先按住Zero鍵以清除上次讀數(shù)，然后關(guān)閉，打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監(jiān)測儀***定距離也仍然清晰可見。當達到預設膜厚或者鍍膜時間到了，檔板就會自動關(guān)閉，同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對監(jiān)測儀的99個存儲膜系進行設置。***先，選“program”鍵，進入菜單，然后，旋轉(zhuǎn)撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數(shù)了。主顯示界面顯示菜單提示，而設定的數(shù)據(jù)可以在輔助界面中找到。

高精度，低成本,標準型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個讀數(shù)/秒,如果用戶有更嚴格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個讀數(shù)/秒的高精型。SQM160另***大優(yōu)點是在整個工作范圍內(nèi)，溫度穩(wěn)定性可以達到2ppm。高精度和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了卓越的性價比。

產(chǎn)品特點：

1.雙通道（標準型），四通道可選

2.沉積速率/膜層厚度模擬輸出

3.高精度: 0.03Hz at 10個讀數(shù)/s

4.RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選