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FEI
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美國(guó)FEI    
FEI 是一家生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)多種科學(xué)儀器的業(yè)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)。 其產(chǎn)品包括電子和離子束顯微鏡,以及 可滿(mǎn)足多個(gè)行業(yè)納米尺度應(yīng)用的相關(guān)產(chǎn)品,這些行業(yè)橫跨: 工業(yè)和理論 材料研究、生命科學(xué)、半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、自然資源 等等諸多領(lǐng)域。

憑借過(guò)去 60 年的技術(shù)創(chuàng)新歷史和業(yè)內(nèi)領(lǐng)導(dǎo)地位, FEI 成為了透射電子顯微鏡 (TEM)、 掃描電子顯微鏡 (SEM)、整合了 SEM 與聚焦離子束 (FIB) 的 DualBeam? 儀器和 用于精密高速切割與加工的專(zhuān)用聚焦離子束儀器的 性能標(biāo)準(zhǔn)。 FEI 成像系統(tǒng)在三維 表征、分析和修改/原型設(shè)計(jì)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了 亞埃(埃:十分之一納米)級(jí)分辨率。

FEI NanoPorts 在東京、美國(guó)俄勒岡州波特蘭、荷蘭埃因霍溫 和中國(guó)上海均有設(shè)點(diǎn),它們都是卓越中心。在這里,眾多科學(xué)家、研究者以及工程師 都可在 FEI 應(yīng)用專(zhuān)家的直接幫助下 體驗(yàn)世界級(jí)顯微 分辨率。 本公司有近 1800 名員工,已在全球超過(guò) 50 個(gè)國(guó)家或地區(qū)開(kāi)展了 銷(xiāo)售和服務(wù)業(yè)務(wù)。

1949年 飛利浦電子光學(xué)發(fā)布了全球第一臺(tái)商用透射電子顯微鏡

1958年 飛利浦電子光學(xué)突破10埃的透射電鏡分辨率(EM200)

1971年 FEI成立,向用戶(hù)提供高純、單一取向晶體作為場(chǎng)發(fā)射研究的材料

1975年 飛利浦電子光學(xué)發(fā)布EM400透射電子顯微鏡,成為現(xiàn)代透射電鏡發(fā)展的基礎(chǔ)

1981年 FEI發(fā)明液體金屬離子源(LMI),成為聚焦離子束(FIB)設(shè)備開(kāi)發(fā)的基礎(chǔ)

1982年 FEI第一只聚焦離子束鏡筒交貨

1983年 FEI交付第一個(gè)靜電場(chǎng)聚焦電子鏡筒 Micrion成立, 致力于開(kāi)發(fā)掩膜修復(fù)用途的聚焦離子束系統(tǒng)

1985年 Micrion交付第一臺(tái)聚焦離子束系統(tǒng)

1989年 FEI發(fā)布完整的FIB工作站

1990年 飛利浦電子光學(xué)發(fā)布PC控制的掃描電子顯微鏡XL系列,成為掃描電鏡數(shù)字化的先驅(qū)

1990年 飛利浦第一臺(tái)6“晶片樣品臺(tái)的掃描電鏡發(fā)布

1993年 FEI和飛利浦電子光學(xué)聯(lián)合發(fā)布“雙束”(電子束+離子束)工作站

1995年 FEI交付第100臺(tái)聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)

1996年 FEI交付第5000只液態(tài)金屬離子源 Micrion發(fā)布其8000系列聚焦離子束系統(tǒng), 用于IC掩膜修復(fù)

1996年 飛利浦電子光學(xué)收購(gòu)美國(guó)ElectronScan公司及其”環(huán)境掃描(ESEM)”技術(shù) 飛利浦電子光學(xué)收購(gòu)位于捷克布爾諾的Delmi公司

1997年 FEI和飛利浦電子光學(xué)宣布合并其全球業(yè)務(wù) 交付第一臺(tái)晶片工廠的在線雙束系統(tǒng)

1998年 FEI發(fā)布全數(shù)字化、全一體化的透射電子顯微鏡Tecnai

1999年 新的FEI購(gòu)并美國(guó)Micrion公司

2000年 發(fā)布第一臺(tái)小樣品臺(tái)雙束系統(tǒng)

2001年 交付第一臺(tái)安裝有單色器的透射電鏡

2002年 FEI收購(gòu)Atomika (SIMS二次離子質(zhì)譜儀)

2002年 FEI發(fā)布Quanta系列掃描電子顯微鏡

2003年 FEI發(fā)布科學(xué)研究和工業(yè)分析用“雙束”(電子束+離子束)工作站Quanta 3D和Nova NanoLab

2003年 FEI收購(gòu)Emispec (ESVision)

2004年 FEI使用安裝有單色器和球差矯正器的200kV Tecnai場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡突破1埃分辨率極限

2005年 FEI發(fā)布全球第一臺(tái)超高分辨率低真空?qǐng)霭l(fā)射掃描電子顯微鏡Nova NanoSEM FEI發(fā)布專(zhuān)門(mén)用于圖像矯正的透射電鏡Titan 80-300, 分辨率達(dá)到0.7埃
A new universe of discovery is taking place at the nanoscale. And nanoscale access begins with FEI.

FEI is the world leader in electron optics and focused ion beam technologies. Our market-leading solutions deliver precision imaging for three-dimensional characterization, analysis and modification of materials and structures with resolution down to the sub-?ngstr?m level. But we're far more than the proven technology innovator.

FEI is a global community of our industry-leading technical and applications specialists collaborating closely with our world-class customers who represent an accomplished list of advanced research institutes, academic centers, and industrial enterprises--all of whom share a passion for discovery. Together we are working in pioneering areas, using best-in-class imaging & analysis tools to address today's most demanding scientific and commercial challenges.

At FEI we're committed to helping our customers push the boundaries of discovery and accelerate new product commercialization. We maintain a global reach with operations in more than 50 countries to serve our customers with speed and efficiency and support their continuing success. Our NanoPorts in North America, Europe and Asia provide centers of technical and applications expertise where our customers and specialists work together on the ongoing development of new ideas and innovative solutions.
 

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